A pesar de sus pequeñas dimensiones, ZEISS MICURA no hace concesiones en lo que a precisión se refiere. ZEISS MICURA está equipada de serie con el sensor de escaneado VAST XT gold de ZEISS y tecnología navigator.

Equipado con el sensor de alta gama VAST XT gold de ZEISS y tecnología de navegador, ZEISS MICURA ofrece escaneo activo con una precisión de medición de menos de un micrómetro. ZEISS MICURA demuestra su fuerza, en particular, con piezas pequeñas y complejas con tolerancias estrechas, como las que se utilizan en óptica y electrónica. A pesar de su tamaño compacto, este sistema ofrece dos volúmenes de medición, 500 x 500 x 500 milímetros y 500 x 700 x 500 milímetros, y por tanto mucho más que instrumentos comparables.

El sensor VAST XT gold de ZEISS permite escanear a alta velocidad con hasta 200 puntos de medición por segundo. De este modo, además de magnitudes geométricas, se logran registrar en poco tiempo y de modo preciso parámetros de forma y posición como redondez o planitud. El sensor puede equiparse con puntas de palpado especialmente pequeñas. El palpador más pequeño presenta un diámetro de tan solo 0,3 milímetros.